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アルバック機工|ULVAC KIKO

ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm DAU-20

メーカー価格 205,700円(税込) 16%引き 33,960円引き
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商品について

商品スペック

注意 ●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

基本情報

商品名 ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm DAU-20
型番 DAU20
メーカー アルバック機工|ULVAC KIKO
商品コード 8818216
メーカー希望小売価格 205,700円(税込)

商品の特徴

■ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
■複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。

【用途】
・広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
・ロードロック室排気。
・吸着搬送、ハンドリング。
・レーザーガス循環・排気用。
・真空乾燥装置、連結真空乾燥装置

【仕様】
・排気速度(L/min)50/60Hz: 20/23
・到達圧力(Pa): 200
・吸気口径(mm): 10
・電源(V): 単相100
・全幅(mm): 161
・全長(mm): 327
・全高(mm): 217
・電源コード長さ(m): 1.8
・3段排気方式
・接ガス部耐食性
・一台から異電圧に別作対応
・到達圧力(KPa): 0.2
・吸排気管径(mm): O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
・最大寸法(mm): 161(W)×327(L)×218(H)

【注意】
・吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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